第717章 刻掩膜版记？

    什么叫接触式呢？

    你们如果想听的话，那我就可以水十多章了……

    啥？不想听？

    不行，你们还是听听吧，让我‘水’个两毛钱的。我还得去改前面的标红呢……

    简单来说，接触式光刻就像你洗照片一样，光掩模版需要直接、紧密地接触涂有光刻胶的硅片表面。除了刻光掩模版，对准是最大难点，全靠技术员在显微镜下手工微调，一点点挪动掩模和硅片的位置，精度和效率都极低，还容易损伤昂贵的掩模。

    想象一下，你要在一张特别特别小的邮票上，用最细的笔，画一幅极其复杂的电路图。这邮票小到什么程度？跟你小指甲盖差不多！而且这‘笔’还不是普通的笔，是光！

    接触式光刻，干的就是这个活！

    怎么干呢？

    首先，你得有个‘模子’，专业点叫光掩模版（Mask）。这模子就像一块透明的玻璃底片，上面用极其精密的工艺，比如手工绘图加照相蚀刻，刻好了放大很多倍的电路图案。

    然后，你有一片处理好的‘小邮票’——就是涂了光刻胶的硅片（Wafer）。光刻胶这东西很神奇，被特定波长的光（比如紫外光）照到的地方，化学性质会变，可以被特定的药水洗掉。

    关键步骤来了！

    你得把这个刻着大图案的玻璃模子，严丝合缝、一点缝隙都没有地，直接摁在那片涂了光刻胶的硅片上！就像盖章一样！

    然后，打开光源就是前面兰英博士说的高压汞灯，让光透过玻璃模子上透明的部分，照到下面的光刻胶上。被光照到的地方，光刻胶就‘变软’了。没被光照到的地方（被模子上不透明的铬层挡住了），就保持原样。

    最后，用药水一洗，被光照过、‘变软’的光刻胶就被洗掉了，露出了下面的硅。没被光照的地方，光刻胶还留着，像一层保护膜。

    这样，玻璃模子上的电路图案，就精确地‘印’到硅片上了！后面再经过刻蚀、离子注入等步骤，就能做出晶体管和电路。