第36章:启明2

作者:不喝开水的鱼
  曙光基地,光学实验室。
  洁净室内,李振华教授小心翼翼地捧着一片刚刚完成镀膜和最终检测的反射镜样品,双手都在微微颤抖。
  在超高倍显微镜下,那镜面光滑得如同绝对零度的水面,原子排列整齐得像是阅兵方阵。
  数据出来了。
  反射率98.7%!
  表面平整度0.07纳米!
  “成功了…真的成功了!”
  李振华的老花镜后面,泪水再次涌了出来。
  他旁边的副手和几个年轻研究员,也激动地互相拍打着肩膀,压抑着欢呼。
  困扰了他们大半个月,几乎让他们绝望的难关,就因为陆院士那几句看似轻描淡写,甚至有些“玄学”的指导,被彻底攻克了!
  而且制造出来的样品,性能指标比设计要求还要高出一截!
  “快!把数据整理好,上报给陆院士!”李振华声音带着哽咽,“还有,立刻开始下一批次的生产,我们要尽快拿出足够数量的合格镜片!”
  整个光学小组,士气空前高涨。
  陆临渊在中央控制室,看着屏幕上传来的光学组最新报告,只是平静地点了点头。
  没有意外。
  系统给出的技术,本就超越了这个时代的认知。
  他切换屏幕,调出了负责EUV光源系统的小组进度。
  进度条,几乎停滞不前。
  问题卡在了等离子体发生器的稳定性上。
  要产生足够强度的极紫外光,需要用高功率激光轰击微小的锡液滴,使其瞬间气化并电离成高温等离子体。
  这个过程,对激光功率的稳定性和锡液滴喷射的精度,要求都达到了变态的程度。
  稍微一点偏差,产生的等离子体就不稳定,EUV光的转换效率会急剧下降,甚至可能损坏昂贵的光学器件。
  负责光源系统的,是国内激光等离子体领域的权威,吴刚教授。
  此刻,吴刚正对着一堆烧毁的靶材和混乱的能量曲线,愁眉不展。
  “功率还是不稳!”
  他用力捶了一下控制台。
  “激光器的瞬时峰值功率总有零点几皮秒的抖动,就是这零点几皮秒,等离子体状态就完全不对了!”
  “还有这个锡液滴喷射系统!妈的,比绣花还难!直径只有几十微米,每秒要喷射五万次!稍微堵塞或者变形,前面全白费!”一个助手抱怨道,满手油污。
  “再试一次!调整激光聚焦参数,把脉冲前沿再削平一点!”吴刚咬着牙,强迫自己冷静下来。
  又一次点火。
  刺目的亮光在反应腔内一闪而过。
  控制台上的警报灯,再次疯狂闪烁起来。
  “不行!能量溢出!EUV转换效率低于0.5%!靶材再次污染!”
  吴刚痛苦地闭上了眼睛,额头上青筋暴起。
  这种挫败感,几乎要将他这位搞了一辈子高能物理的老专家给压垮。
  他知道,整个“启明计划”能不能按时完成,光源系统是关键中的关键。
  如果他们这里卡壳,后面的一切都无从谈起。
  ……
  曙光基地,光源实验室。
  吴刚教授最终还是带着满脸的疲惫和羞愧,找到了陆临渊。
  “陆院士…我们…我们尽力了。”
  他声音沙哑,将厚厚一叠失败的实验报告放在桌上。
  “现有的激光控制精度和微滴喷射技术,根本达不到稳定产生EUV光源的要求。我们尝试了所有能想到的方案,都失败了。”
  陆临渊拿起报告,快速翻阅着。
  他的眉头微微皱起。
  不是因为问题棘手,而是因为吴刚团队的思路,完全被现有的技术框架给限制住了。
  “吴教授,你们陷入了一个误区。”
  陆临渊放下报告,看向吴刚。
  “谁说产生稳定的等离子体,一定要依赖完美的激光脉冲和液滴喷射?”
  吴刚愣住了:“不…不这样还能怎样?”
  陆临渊走到旁边的白板前,拿起笔,飞快地画了一个示意图。
  “为什么不能反过来?”
  “让等离子体本身,去‘适应’不够完美的激光和液滴?”
  他一边画,一边解释。
  “在反应腔内,增加一组辅助约束电磁场。根据激光能量的实时监测数据和液滴位置的预测算法,动态调整电磁场的形态和强度。”
  “用这个动态变化的‘软约束’,去主动引导和修正等离子体的形态,将能量波动控制在阈值内,从而稳定EUV的输出。”
  白板上,复杂的公式和电磁场模型,看得吴刚和跟过来的几个小组成员,眼花缭乱,却又隐隐感觉打开了一扇新世界的大门。
  主动引导?软约束?
  让等离子体去适应输入端的不完美?
  这…这简直是逆向思维!完全颠覆了他们之前的研究方向!
  “这…这在理论上…可行吗?”吴刚嘴唇哆嗦着问道。
  “理论和模拟都已完成。”陆临渊放下笔,语气淡然,“控制算法的核心代码,我已经让陈启明发给你们了。”
  “你们只需要按照图纸,改造反应腔,增加电磁约束模块,然后输入新的控制程序,就可以进行测试了。”
  吴刚看着白板上那堪称艺术品的力场设计图,又想到陆临渊之前在光学组创造的“奇迹”,心中的疑虑瞬间被巨大的希望所取代。
  “好!我们马上去办!”
  他猛地转身,对着身后的团队成员吼道。
  “都愣着干什么!马上行动!按陆院士的方案改!”
  整个光源小组,如同打了鸡血一般,立刻投入到新的工作中。
  陆临渊看着他们忙碌的背影,眼神平静地望向基地深处。
  一个个技术难关被攻克。
  那台汇聚了人类工业智慧结晶的机器,正在他的指导下,一步步从图纸走向现实。
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