第83章 镜面战争:科技与艺术的融合

作者:雾弦朝岚
  环境洁净度:Class 1(每立方英尺 0.1 微米尘埃 < 1 个)。

  空气过滤系统发出的轻微白噪音中,陈骁正对着一张原子力显微镜(AFM)生成的 3D 地形图发愁。

  “不行……这块坯子还是不够平。”

  他指着屏幕上那片在纳米尺度下坑坑洼洼的“山脉”,痛苦地说道:

  “这是国内光机所烧制出的最好的超低膨胀微晶玻璃。宏观上看,它比镜子还亮。但在纳米尺度下,表面粗糙度(RMS)还有 1.2 纳米。”

  “1.2 纳米很高吗?”旁边的阿米尔不解,“这也就是几个原子的厚度吧?”

  “对于 SSMB 产生的 13.5nm 极紫外光来说,这就是灾难!”

  陈骁解释道:

  “EUV 光波长极短,一旦撞到这些 1.2 纳米的‘山峰’,光就会发生严重的散射,导致成像对比度下降。”

  “要想实现 High-NA(高数值孔径)级别的成像,我们需要的是 0.1 纳米以下——那是原子级的平整度!”

  “这相当于把整个地球磨平,最高的山峰不能超过一根头发丝。”

  “用现有的离子束抛光机呢?”林雨桐问。

  “试过了。机器是死的,算法是固定的,它会在去除材料的同时留下周期性的高频波纹。”陈骁叹气,“ASML 的顶级反射镜是蔡司那帮老技工用几十年经验‘摸’出来的。那种对材料去除函数的直觉,现在的 AI 还学不会。”

  就在这时,超净间的气闸门缓缓打开。

  一个冷淡的女声传来:

  “机器学不会,是因为机器没有灵魂。”

  众人回头。

  只见一个穿着深灰色工装、戴着护目镜、嘴里叼着一根棒棒糖的女人走了进来。

  她有着一头利落的白金色短发,手腕上纹着精密的机械刻度尺。身后跟着两个搬运工,抬着一个像手术台一样的银色箱子。

  汉娜·穆勒。

  32 岁,德国蔡司家族旁系继承人,也是业内公认的“光学疯子”。

  “老板,这就是你找来的救兵?”阿米尔小声问。

  林凡倚在门口,抱着手臂笑了笑:

  “汉娜,由于众所周知的原因,蔡司刚刚宣布把你除名了。”

  “求之不得。”

  汉娜嚼碎了嘴里的棒棒糖,眼神锐利如刀:

  “那群老顽固只会为了财报向军工妥协。他们忘了,磨镜子是对光的礼赞,不是为了制造导弹瞄准镜。”

  她走到那块价值连城的微晶玻璃前,没有戴手套去摸(因为那会污染表面),而是直接拿起了旁边的干涉仪图谱。

  只看了一眼,她就冷笑了一声:

  “典型的应力残留。左下角 30 度区域的波纹模式,说明这块玻璃在退火时,降温速度快了 0.5 秒。”

  “中间那个凸起,是离子束停留时间计算错误导致的过修正。”

  陈骁惊得下巴都快掉了。他看了一眼刚出来的深度分析报告——完全一致。

  “你……你是怎么看出来的?”

  “我看过上万张干涉图。”

  汉娜打开她带来的银色箱子,里面不是抛光粉,而是一套精密的传感器探头。

  “每一块玻璃都有它的脾气。机器只能看到数据,而我能看到它的热历史。”

  “开始修整吧。”汉娜说道。

  然而,十分钟后,她放下了手中的操作杆,额头上渗出了细密的汗珠。

  “不行……”

  她摇了摇头,眼神中闪过一丝挫败。

  “0.5 纳米是我手工设定的极限。再往下,去除量只有亚埃级(0.01nm)。我无法控制离子束的驻留时间。只要手稍微抖一下,多打掉几百个原子,这块镜子就废了。”

  她看向林凡:“你要的 0.1 纳米,是上帝的领域。人类的手不够稳,机器的脑子不够活。”

  实验室里一片死寂。

  难道“逐日计划”要倒在最后一块镜子上?

  “人类的手不够稳。”

  林凡缓缓走到操作台前,声音平静:

  “但如果,给你的手装上‘上帝的眼睛’呢?”

  林凡挥手示意。

  工程师推过来一台科幻感十足的设备。

  它主体是一台高精度的聚焦离子束系统,但操作端不是鼠标键盘,而是一套带有力反馈的机械外骨骼手套。

  这是原子级触觉反馈加工界面。

  “这是什么?”汉娜看着那套设备。

  “我叫它‘微观钢琴’。”

  林凡示意汉娜戴上手套:

  “这台机器连接着扫描探针和离子枪。”

  “它会把镜面上的每一个纳米级起伏,放大一亿倍,转化成你手指上的触觉阻力。”

  林凡看着汉娜震惊的眼睛:

  “汉娜,你不需要靠猜了。”

  “现在,你能摸到那些原子山峰。”

  “我要你用你的直觉,去指挥离子束。当你感觉到‘阻力’(凸起)时,按下去——离子束就会削掉它们。”

  “不是‘填坑’,而是雕刻。”

  汉娜将信将疑地戴上了那双布满传感器的手套。

  下一秒,她倒吸一口凉气。

  “天啊……”

  在她的感知里,那块原本光滑如镜的表面,瞬间变成了一片连绵起伏的丘陵。她能清晰地感觉到每一座“小山包”的硬度和位置。

  “感觉到了吗?”林凡的声音在耳边响起,“现在,削平它。像你修整一件艺术品一样。”

  汉娜的眼神变了。

  那种顶级工匠特有的狂热与专注,重新回到了她的瞳孔里。

  她的手指在虚空中轻轻按动。

  滋——滋——

  伴随着她手指的动作,真空腔内的离子枪喷射出一束束极细的离子流。

  屏幕上的模拟图像显示,那些纳米级的“山峰”,正在被一层层原子地剥离。

  这不是工业加工。

  这是一扬微观世界的演奏会。

  汉娜的手指跳跃、滑动、悬停。

  当她感觉到阻力变大(遇到高点),手指轻压,离子束增强;

  当阻力消失(平整),手指回弹,离子束瞬间切断。

  人脑的经验判断,加上机器的原子级精度,达成了完美的共生。

  陈骁、林雨桐、阿米尔,三个人站在后面,大气都不敢出。

  他们看到的不是枯燥的数据,而是一种令人窒息的工业美学。

  科技到达极致,竟然真的变成了艺术。

  不知过了多久。

  汉娜的手指完成了最后一个优雅的收尾动作,悬停在半空。

  长长地呼出一口气。

  “检测。”她的声音有些沙哑,却透着无与伦比的骄傲。

  陈骁立刻启动相位干涉仪。

  几秒钟后,屏幕上跳出了最终数据。

  所有人都屏住了呼吸。

  【表面粗糙度(RMS):0.04 nm】

  【面型精度(PV):λ/120】

  “0.04 纳米……”陈骁喃喃自语,仿佛在看神迹,“这已经逼近了物理极限!就算是蔡司最顶级的镜王,也不过如此!”

  “有了这面镜子,光路的传递函数(OTF)将近乎完美。我们的 SSMB 光源,终于可以毫无损耗地照到晶圆上了!”

  “成功了!”

  阿米尔兴奋地跳了起来,一把抱住身边的林雨桐。林雨桐难得地没有推开他,嘴角也露出了一丝笑意。

  汉娜摘下手套,整个人像是虚脱了一样靠在椅子上。

  她看着那面在特殊灯光下仿佛隐形了的镜子(因为光线被完美反射,没有散射光进入眼睛),从口袋里掏出一根新的棒棒糖,剥开糖纸。

  “林。”

  她看向林凡,眼中闪烁着异样的光彩:

  “在德国,我被教导要敬畏机器。”

  “但在你这里……我感觉我驾驭了机器。”

  “这就是你要的光路吗?如果是的话……它现在是世界上最平坦的路了。”

  林凡微笑着递给她一杯水:

  “欢迎加入夸父小队,汉娜。”

  “路铺平了,光也亮了。”

  林凡转过身,目光穿透层层岩壁,似乎看向了更加遥远的虚拟世界。

  “硬件的战争结束了。”

  “接下来,该让我们的 EDA 软件,去画那张足以改变世界的地图了。”

  “阿米尔,轮到你了。”
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